| 秦王政二十五年（前222年），以故吴越地置会稽郡，郡治吴（今苏州）。置钱唐、余杭两县，是为境内建县之始（钱唐几经变更，至民国为杭县，今余杭区系由原余杭县和杭县部分地域合并而成）。 西汉时，余杭、钱唐两县仍属会稽郡，钱唐为会稽郡西部都尉治。平帝元始四年（4年），改钱唐县为泉亭县。新莽始建国元年（9年），改余杭县为进睦县。东汉建武元年（25年），复名余杭、钱唐。三国时，余杭、钱唐均入吴国版图，属吴郡，隶扬州，钱唐县为吴郡都尉治。 隋开皇九年（589年），废钱唐郡，改置杭州，州治初设余杭，次年移钱唐。大业三年（607年），又改杭州为余杭郡，钱唐、余杭仍为所属。唐武德四年（621年），余杭郡又改为杭州，并改钱唐为钱塘。五代后梁龙德二年（922年），划钱塘、盐官两县地各半及富春县之两乡地置钱江县，与钱塘县同城设治。 北宋太平兴国四年（979年），改钱江县为仁和县。南宋建炎三年（1129年），升杭州为临安府。绍兴八年（1138年），正式定都临安。钱塘、仁和升赤，余杭升畿。元至元十五年（1278年），改临安府为杭州路，钱塘、仁和、余杭属之。至正二十六年（1366年），朱元璋攻下杭州，改杭州路为杭州府。明清延之。 
民国元年（1912年）2月，废杭州府，以原钱塘、仁和县地并置杭县，后与余杭县同属钱塘道。1927年，废道制，实行省、县两级制，划杭县的城区、西湖、会堡、湖墅、皋塘、江干6个区建立杭州市。
1949年5月，余杭县、杭州市、杭县先后解放。余杭县属第九专员公署后称临安专区，为专区驻地；1950年3月，专署迁临安。1953年改属嘉兴专区，1957年属建德专区，1959年属嘉兴专区。 1949年，杭县先属杭州市，12月改为省直属县；1951年12月属杭州市；1952年12月仍为省直属县，1957年9月再属杭州市。1958年4月，杭县撤销，原杭县长命乡、瓶窑镇划归余杭县，其余35个乡镇及余杭县的闲林乡划为杭州市。1958年10月，余杭县撤销，并入临安县。 1959年3月，成立半山、拱墅两个（人民公社）联社。半山（人民公社）联社辖九堡、亭趾、临平、塘栖、四维等公社，拱墅（人民公社）联社辖良渚、东塘、三墩、留下、上泗等公社。1960年1月，拱墅联社与半山联社社合并为钱塘联社（县级）。 1961年3月，原余杭县所辖地从临安县析出，划归钱塘联社。钱塘联社所辖上泗、留下公社划归西湖区。4月，恢复县建制，钱塘联社改建为余杭县。1994年4月，撤销余杭县，设立余杭市。2001年3月，撤销余杭市，设立杭州市余杭区。2021年4月，杭州市部分行政区划优化调整，撤销余杭区，设立新的余杭区和临平区。
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